少妇人妻精品一区二区三区,法国一级情欲片,色综合欧美,激情国产

產(chǎn)品中心您的位置:網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體烘烤設(shè)備 > 無塵烘箱 > JS-MOL00堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱
堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱

堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱

簡要描述:

堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面,并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱注意事項

堅膜就是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面,并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

堅膜并不是一道必需工藝。如后續(xù)為刻蝕工藝,建議進(jìn)行堅膜,來提高光刻膠的穩(wěn)定性,如果后續(xù) 工藝為lift-off工藝,一般不建議進(jìn)行堅膜工藝,因?yàn)閳阅ず蠊饪棠z穩(wěn)定性提高,反而不利于剝離的進(jìn)行。

另外,一定要注意堅膜的溫度,過高的溫度會光刻膠結(jié)構(gòu)變形、融化甚至圖形消失。

堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱光刻膠變化

1)熱變形

非交聯(lián)型光刻膠的結(jié)構(gòu),即顯影后的正膠和圖形反轉(zhuǎn)膠結(jié)構(gòu)在加熱后的軟化溫度取決于前面軟烘烤工藝。

2)溶劑變化

減少殘留溶劑的含量實(shí)際上是勻膠工藝后前烘步驟的意義。然而,在厚膠工藝的情況下,即使是在推薦的前烘條件下,在靠近襯底附近的光刻膠中仍然包含相當(dāng)高的溶劑。

3)光引發(fā)劑熱分解

在正膠情況下,相當(dāng)一部分光引發(fā)劑在120℃下 幾分鐘內(nèi)就會分解。雖然在顯影后不再需要光引發(fā)劑進(jìn)行光反應(yīng),但在未曝光狀態(tài)下,它有助于提高光刻膠膜在堿性環(huán)境中的穩(wěn)定性,以及用于隨后的濕法蝕刻步驟或在pH值為>7的溶液中進(jìn)行的電鍍工藝。

4)熱交聯(lián)

在正膠情況下,樹脂在130℃-140℃下熱交聯(lián)強(qiáng)度逐漸增強(qiáng),這可以顯著提高光刻膠對堿性或有機(jī)溶劑的化學(xué)穩(wěn)定性。

5)光刻膠脆性

在烘烤過程中,殘余溶劑的含量進(jìn)一步降低以至于光刻膠結(jié)構(gòu)的彈性也隨之降低,同時光刻膠結(jié)構(gòu)與氧氣反應(yīng),在120 -130℃左右開始光刻膠開始脆化。光刻膠和襯底材料的不同熱膨脹系數(shù)不同會導(dǎo)致裂紋的產(chǎn)生。產(chǎn)生的這些光刻膠裂紋對后續(xù)濕法刻蝕與電鍍的影響是非常不利的。

堅膜烘箱 潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱工藝特點(diǎn)

如果必須做堅膜工藝,可以通過控制降溫速度來減小裂紋的形成。例如,通過隨爐子冷卻來減小裂紋的產(chǎn)生。出于同樣的原因,烘烤后的襯底應(yīng)小心處理,并應(yīng)避免變形,如襯底彎曲,這些對于PI膠做鈍化層(PI固化爐)的應(yīng)用顯得尤為重要。

堅膜烘箱技術(shù)性能

全周激光滿焊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵;

采用特殊風(fēng)道,水平送風(fēng),溫度均勻性佳;

可定值運(yùn)行,多段程序運(yùn)行;

設(shè)備采用雙腔室一體設(shè)計,獨(dú)立控制,節(jié)省空間;

溫度范圍: RT+10~200、300/400℃;

溫度均勻度:≤±1.5%℃;

潔凈度:class100,適用潔凈間;

設(shè)備尺寸:45*45*50(CM)

計時功能:0~ 99H99M可調(diào);

降溫方式:可選配

保溫材料:超細(xì)陶瓷纖維;

隔 板:1-10層;



COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號-1   

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營優(yōu)質(zhì)的堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱等,歡迎來電咨詢堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮?dú)鉄o塵烘箱詳細(xì)資料等信息
地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號
亚洲中文字幕av每天更新| 日韩人妻无码一区二区三区久久99| 欧美老肥婆性猛交视频| 国产av人人夜夜澡人人爽麻豆 | 最新国产精品久久精品| 洮南市| 久久爱| 韩国av一区二区| 国产一区二区久久精品涩爱| 色婷婷亚洲十月十月色天| 国产亚洲欧美在线专区| 久久青草亚洲AV无码麻豆| 国产av永久无码青青草原| 久久蜜桃精品av人妻| 成人蜜桃视频| 粉嫩av国产一区二区三区| 欧美日韩激情综合一区二区不卡| 国产精品欧美成人| 国产成人精品无码片区| 国产白丝精品91爽爽久久| 91熟女av一区二区在线| 中文字幕乱码人妻二区三区| 香港三级电影在线| 男女性潮高清免费网站| 中文无码热在线视频| av天堂影音先锋在线| 中文在线√天堂| 国产乱轮视频| 国产欧美日韩一区二区三区| 国产欧美日本成人| 国产亚洲AV手机在线观看| 成年免费A级毛片| 国产乱人伦AV在线A麻豆| 国产精品对白刺激久久久| 婷婷久久香蕉五月综合加勒比 | 国产我和子的与子乱视频 | 国产高清一区二区三区视频| 国产精品亚洲片在线| 亚洲日本VA午夜在线影院| 国产亚洲AV片在线观看播放| 精品欧美成人高清在线观看|