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MSD烘箱 高溫超低濕烘箱 濕敏烤箱 烘焙容易產(chǎn)生老化，以及烘焙受潮超過 0.1wt%的元件產(chǎn)生損 害等原因，推薦使用 40°C + 5%RH 或是 90°C + 5%RH 條件烘焙。

超低濕烘箱 高溫低濕烤箱 濕敏原件烘箱滿足各種濕敏元件烘烤條件的專用烘烤設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)： 40℃±5%Rh～90℃/±5%Rh 125℃~150℃/±5%Rh 烘烤及高溫試驗(yàn)

堅(jiān)膜烘箱，氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對(duì)顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

塑封固化專用潔凈烘箱采用自動(dòng)加熱的方式對(duì)其進(jìn)行保溫固化，固化溫度維持在 175℃，固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。

百級(jí)三箱潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱定制應(yīng)用于精密電子元件、高溫烘烤、堅(jiān)膜烘烤、治具干燥、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).