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半導(dǎo)體百級潔凈烘箱,芯片百級烤箱 工業(yè)烘箱

半導(dǎo)體百級潔凈烘箱,芯片百級烤箱 工業(yè)烘箱

簡要描述:

半導(dǎo)體百級潔凈烘箱,芯片百級烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

半導(dǎo)體百級潔凈烘箱,芯片百級烤箱概述

半導(dǎo)體百級潔凈烘箱,芯片百級烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點

Ø  在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100;

Ø  全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;

Ø  采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;

參數(shù)

Ø  進(jìn)風(fēng)口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制;

Ø  排風(fēng)口: φ3”排風(fēng)管(外接φ5"法蘭);       

Ø  電源:480v , 50Hz,15KW ,電源供應(yīng)器為UL/FM/CE或3C認(rèn)證,并有過

Ø  電流保護(hù)裝置;   

Ø  網(wǎng)板:5層,2mmt不銹鋼版加工四周內(nèi)向折成10mm的圓孔承托盤 , 單層

Ø  層載重量可需承重50kg;

Ø  潔凈度:100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實

Ø  現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

溫度控制器

Ø  彩色觸摸屏控制器TEMI360

a)   控制器:彩色觸摸屏;

b)   顯示器:3.5英寸TFT彩色LCD顯示器;

c)   輸出方式:PID控制輸出;

d)   運行方式:程序方式、定值方式;

e)   設(shè)定方式:中/英文菜單,觸摸屏方式輸入;

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