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硅片潔凈烘箱,半導(dǎo)體百級(jí)潔凈烤箱 工業(yè)烘箱

硅片潔凈烘箱,半導(dǎo)體百級(jí)潔凈烤箱 工業(yè)烘箱

簡要描述:

硅片潔凈烘箱,半導(dǎo)體百級(jí)潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)

硅片潔凈烘箱,半導(dǎo)體百級(jí)潔凈烤箱概述

硅片潔凈烘箱,半導(dǎo)體百級(jí)潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

參數(shù)

主要技術(shù)指標(biāo)

Ø  無塵等級(jí):Class 100;     

Ø  溫度均勻度:±2℃;    

Ø  溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載);        

Ø  溫控精度:±0.1℃;

Ø  進(jìn)風(fēng)口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;

排風(fēng)口: φ3”排風(fēng)管(外接φ5"法蘭);

箱體結(jié)構(gòu)

a)   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成

結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;

b)   箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,可防止微塵;

c)   內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿 性蘇打水清潔

去油污避免烘烤PARTICLE;

完善的安全保護(hù)措施

漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置(上限220℃)、 電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、 反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器、門面安全開關(guān)。

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