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HMDS真空烤箱的特點

更新時間:2013-09-10   點擊次數(shù):6827次

HMDS真空烤箱的特點
  來源: 上海雋思實驗儀器有限公司

一、HMDS真空烘箱技術(shù)參數(shù):

電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率:2400W

控溫范圍:室溫+10-250

溫度分辨率:0.1

溫度波動度:±0.5

達(dá)到真空度:133Pa

容積:90L

工作室尺寸(mm):450*450*450(可選擇)

載物托架:2

二、HMDS真空烤箱的使用優(yōu)點

1、JS-HMDS真空烤箱預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。

2、處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

3、效率高,液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片。

4、更加節(jié)省藥液,實踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多;

5、更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環(huán)境造成污染。

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