少妇人妻精品一区二区三区,法国一级情欲片,色综合欧美,激情国产

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁 >技術(shù)文章 > HMDS(六甲基二硅氮烷)表面處理

HMDS(六甲基二硅氮烷)表面處理

更新時(shí)間:2022-11-03   點(diǎn)擊次數(shù):2843次

HMDS(六甲基二硅氮烷)表面處理的應(yīng)用

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理的工藝是勻膠前襯底“增附"處理。在光刻中,通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋"甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善,這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏,也稱為HMDS預(yù)處理。

HMDS(六甲基二硅氮烷)表面處理設(shè)備

  JS-HMDS90 是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再進(jìn)行HMDS處理,不需要從箱內(nèi)傳出,而接觸到空氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有更好的處理效果。

  HMDS(六甲基二硅氮烷)表面處理設(shè)備將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。


HMDS藥液低液位報(bào)警:

自動(dòng)吸取HMDS:

可自動(dòng)添加HMDS:

HMDS藥液泄漏報(bào)警:

HMDS氣體管路加熱系統(tǒng):

參數(shù)記錄功能:

溫度與程序互鎖功能:

容積大小:350*350*350/450*450*450(mm)可定制

溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤133pa(1torr)       

控制系統(tǒng);人機(jī)界面+PLC

擱板層數(shù):2層


   無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵烘箱,HMDS烘箱,硅烷蒸鍍機(jī),無塵無氧烘箱,氮?dú)夂嫦洌娘L(fēng)真空烘箱,超低溫試驗(yàn)箱,快溫變?cè)囼?yàn)箱,恒溫恒濕試驗(yàn)箱,高低溫沖擊試驗(yàn)箱等設(shè)備,以及非標(biāo)定制。---上海雋思儀器專業(yè)生產(chǎn)/服務(wù)! 



分享到:

返回列表返回頂部
COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主營產(chǎn)品:無氧化烘箱,精密熱風(fēng)烘箱,晶元烘箱,百級(jí)氮?dú)饪鞠?/strong>,無氧烤箱
地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號(hào)

環(huán)保在線

推薦收藏該企業(yè)網(wǎng)站
亚洲AV日韩AV无码AV| 亚洲综合另类小说色区色噜噜| 欧美午夜片欧美片在线观看| 亚洲综合精品香蕉久久网| 欧洲美熟女乱av在| 深夜福利AV无码一区二区| 中文字幕人妻av一区二区| 久久久免费看| 久久久久精| 丰满人妻一区二区三区视频 | 国内精品久久久久久久日韩| 色狠久久av北条麻纪| 国产女同无遮挡互慰高潮91| 夜夜春夜夜爽| 中文亚洲成A人片在线观看| 永久AV狼友网站在线观看| 无码日韩人妻AV一区二区三区| 久久精品亚洲精品无码白云tv| 日本二区| 在线观看h| 男人天堂av网| 日韩欧美精品一区二区| 亚洲蜜桃精久久久久久久| 中文天堂在线资源www| 最新永久免费av无码网站| 我被继夫添我阳道舒服视频 | 无码办公室丝袜ol中文字幕| 在线精品亚洲一区二区绿巨人| 成人午夜高潮刺激免费视频| 美腿制服丝袜国产亚洲| 色综合中文字幕久久88| 顶的速度越来越快越| 国产午夜成人无码免费看| 久久这里只有精品18| 成人免费看吃奶视频网站| 精品久久久噜噜噜久久| 亚洲av成人综合网久久| 蜜桃一区| www.久久久久久久| 被男友按住猛啪好爽| 91精品国产一区二区三区蜜臀 |