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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱

簡(jiǎn)要描述:

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?,增?qiáng)表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。

掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱應(yīng)用原理

   掩膜版(Photomask),又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微電子、集成光電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版, 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過(guò)曝光將圖形轉(zhuǎn)印到晶圓上。

掩模版在設(shè)計(jì)時(shí)有著明場(chǎng)和暗場(chǎng)之分,在其與之光刻膠(正、負(fù)膠)曝光時(shí)可以根據(jù)工藝時(shí)的需要來(lái)選擇設(shè)計(jì)。上文已經(jīng)提到正光刻膠曝光區(qū)域被溶解,負(fù)膠則相反。

掩膜版主要由基板和遮光膜兩個(gè)部分組成?;宸譃闃?shù)脂基板和玻璃基板,玻璃基板主要包括石英基板和蘇打基板,根據(jù)遮光膜種類的不同,可以分為硬質(zhì)遮光膜和乳膠。

掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱功能

    材質(zhì):內(nèi)箱采用316L級(jí)不銹鋼

    工藝溫度:100-150℃

    溫度分辨率:0.1℃

    溫度波動(dòng)度:≤±0.5

    真空度:≤133pa(1torr)

    操作界面:人機(jī)界面,一鍵作業(yè)

    層數(shù):1-2層

    HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量

    圖像處理:圖像反轉(zhuǎn)

    真空泵: 進(jìn)口無(wú)油泵

    保護(hù)裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報(bào)&警提示,HMDS低液位報(bào)&警,超溫保護(hù),漏電保護(hù),過(guò)熱保護(hù)等

 掩膜版HMDS真空烘箱  光罩hmds烘箱  hmds預(yù)處理烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?,增?qiáng)表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。


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