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充氮烤箱

充氮烤箱

簡要描述:

充氮烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

充氮烤箱概述

用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

充氮烤箱結(jié)構(gòu)

烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE;

性能

1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)

潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。

M計裝可編程控制1模式20步驟,zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。簡單操作的標(biāo)準(zhǔn)計裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設(shè)定動作的程序運行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過升防止器。 

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