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HMDS真空烘箱處理系統(tǒng)

HMDS真空烘箱處理系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:

HMDS真空烘箱處理系統(tǒng):性能更好,由于是在經(jīng)過(guò)數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過(guò)100℃-160℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有著更好的處理效果。

HMDS真空烘箱處理系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率:2000W

控溫范圍:RT+20℃-160℃

溫度分辨率:0.1℃

溫度波動(dòng)度:±0.5℃

達(dá)到真空度:-100kPa(1torr)

工作室尺寸(mm):450*450*450(可定做)

有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。

HMDS真空烘箱處理系統(tǒng)加熱模塊

由于工藝的整個(gè)過(guò)程都需要在150℃左右的環(huán)境下進(jìn)行,所以自始至終加熱

系統(tǒng)都在工作。

本系統(tǒng)采用在腔內(nèi)分布兩塊獨(dú)立的熱板來(lái)實(shí)現(xiàn)加熱,每個(gè)熱板都采用人工智

能PID調(diào)節(jié)儀實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出從而實(shí)現(xiàn)溫度的精確

穩(wěn)定控制,測(cè)溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。

真空模塊

由機(jī)械泵、真空組件、真空測(cè)量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的

HMDS蒸汽。

充氮模塊

作用是在置換過(guò)程中,用氮?dú)鈦?lái)逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而zui終替換空氣

或藥液蒸汽的氣氛。

主要由氮?dú)庠础⒖刂崎y和噴頭組成。

控制模塊

控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個(gè)模塊的動(dòng)作和時(shí)序,完

成整個(gè)工藝過(guò)程。

它主要由人機(jī)界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報(bào)警等5部分組

成。

人機(jī)界面采用φ100mm松下觸摸屏來(lái)實(shí)現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。PLC采用松下的FP0系列小型化PLC。

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